方塊電阻是一種描述半導(dǎo)體導(dǎo)電性能的方法。設(shè)一塊長(zhǎng)度、寬度和厚度分別為L(zhǎng)、W、d，電阻率為ρ的半導(dǎo)體薄片，電阻的計(jì)算式為R=ρ(L/dW)=(ρ/d)(L/W)，可以理解為，薄片的電阻正比于長(zhǎng)度比寬度，比例系數(shù)為ρ/d。這個(gè)比例系數(shù)就是方塊電阻，用Rs表示，Rs=ρ/d.利用方塊電阻式，電阻計(jì)算式可以寫(xiě)成R=Rs(L/W)，當(dāng)L=W時(shí)，R=Rs，也就是說(shuō)，方塊電阻實(shí)際上表示的是一個(gè)正方形薄層邊到邊的電阻，而且它與正方形的邊長(zhǎng)無(wú)關(guān)，只與材料和厚度有關(guān)。