精密器械是指用以產(chǎn)生、測(cè)量精密量的設(shè)備和裝置，包括對(duì)精密量的觀察、監(jiān)視、測(cè)定、驗(yàn)證、記錄、傳輸、變換、顯示、分析處理與控制。

按照測(cè)量對(duì)象的不同，精密器械可以劃分為以下幾類：

①幾何量精密器械

主要包括檢測(cè)各種幾何量的精密儀器，如立式測(cè)角儀、激光干涉比長(zhǎng)儀、經(jīng)緯儀、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、圓度儀、輪廓儀和掃描隧道顯微鏡等測(cè)量?jī)x器。

②熱工量精密器械

主要包括溫度、濕度、壓力、流量檢測(cè)精密儀器，如各種氣壓計(jì)、真空計(jì)、多波長(zhǎng)測(cè)溫儀表、流量計(jì)和高度表等。

③機(jī)械量精密器械

主要包括各種測(cè)力儀器、應(yīng)變儀、加速度與速度測(cè)量?jī)x、轉(zhuǎn)矩測(cè)量?jī)x、振動(dòng)測(cè)量?jī)x、多功能材料實(shí)驗(yàn)機(jī)和布氏硬度計(jì)等。

④時(shí)間頻率精密器械

主要包括各種計(jì)時(shí)儀器與儀表、原子鐘、時(shí)間頻率測(cè)量?jī)x等。

⑤電磁精密器械

主要用于測(cè)量各種電量和磁量，如電流表、電壓表、功率表、電阻測(cè)量?jī)x、電容測(cè)量?jī)x、靜電儀和磁參數(shù)測(cè)量?jī)x等。

⑥無(wú)線電精密器械

主要包括示波器、信號(hào)發(fā)生器、相位測(cè)量?jī)x、頻譜分析儀和動(dòng)態(tài)信號(hào)分析儀等。

⑦光學(xué)與聲學(xué)精密器械

主要包括光譜儀、光度計(jì)、色度計(jì)、激光參數(shù)測(cè)量?jī)x、光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)量?jī)x、噪聲測(cè)量?jī)x和聲吶測(cè)量?jī)x等。

⑧電離輻射精密器械

主要包括各種放射性、核素計(jì)量、X和λ等射線計(jì)量?jī)x器等。